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1)  MEMS capacitive sensor
MEMS电容传感器
2)  MEMS-based electrostatic field sensor
MEMS电场传感器
3)  MEMS sensor
MEMS传感器
1.
Studying MEMS sensor of oil exploration;
石油勘探MEMS传感器的研究
2.
In the telemetry of rocket and cannon projectiles,we can use IMU based on MEMS sensors to measure flying attitude of projectile.
在弹箭飞行遥测中,采用基于MEMS传感器的惯性测量组合(IMU)来测试弹箭飞行姿态数据,该方法构成的测试系统体积小、抗过载高、功耗低、数据处理简单直观可靠、对弹载结构改动不大且成本低。
3.
Batch microassembly of MEMS sensors is limited by the manual manipulation required specially trained technicians.
手工操作限制了MEMS传感器的批量生产。
4)  MEMS capacitive accelerometer sensor readout circuit
MEMS电容加速度传感器读出电路
1.
This paper is to research and design the low-pass filter of the MEMS capacitive accelerometer sensor readout circuit.
本文研究设计了适于MEMS电容加速度传感器读出电路的低通滤波器。
5)  MEMS capacitive RF power sensor
MEMS电容式微波功率传感器
1.
The components of this system have been designed and simulated by HFSS(high frequency structure simulator),including the simulation and design of the power divider and the MEMS capacitive RF power sensor.
提出了基于MEMS技术,由功分器、45°移相器和MEMS电容式微波功率传感器组成差分式微波信号相位检测器,实现了在被测信号幅度未知条件下全周期的相位测量。
6)  capacitance sensor
电容传感器
1.
Detector for water content of molding sand with capacitance sensor;
采用电容传感器的型砂含水率检测仪
2.
Cylinder Surface Capacitance Sensor Applied to Examine Yarn Irregularity;
应用于条干均匀检测的长直圆柱面电容传感器
3.
Capacitance Sensor Application in the Asphalt Content Measurement;
电容传感器在沥青含量测量中的应用
补充资料:电容式传感器
      把被测的机械量,如位移、压力等转换为电容量变化的传感器。它的敏感部分就是具有可变参数的电容器。其最常用的形式是由两个平行电极组成、极间以空气为介质的电容器(见图)。若忽略边缘效应,平板电容器的电容为εA/δ,式中ε为极间介质的介电常数,A为两电极互相覆盖的有效面积,δ为两电极之间的距离。δ、A、ε 三个参数中任一个的变化都将引起电容量变化,并可用于测量。因此电容式传感器可分为极距变化型、面积变化型、介质变化型三类。极距变化型一般用来测量微小的线位移或由于力、压力、振动等引起的极距变化(见电容式压力传感器)。面积变化型一般用于测量角位移或较大的线位移。介质变化型常用于物位测量和各种介质的温度、密度、湿度的测定。电容器传感器的优点是结构简单,价格便宜,灵敏度高,过载能力强,动态响应特性好和对高温、辐射、强振等恶劣条件的适应性强等。缺点是输出有非线性,寄生电容和分布电容对灵敏度和测量精度的影响较大,以及联接电路较复杂等。70年代末以来,随着集成电路技术的发展,出现了与微型测量仪表封装在一起的电容式传感器。这种新型的传感器能使分布电容的影响大为减小,使其固有的缺点得到克服。电容式传感器是一种用途极广,很有发展潜力的传感器。
  

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