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1)  integrated MEMS sensor
集成MEMS传感器
1.
The sensors including integrated MEMS sensors,tire tread impedance sensors,ultrasonic sensors,electromagnetic sensors,wireless passive surface acoustic wave sensors and virtual sensor were introduced,and their present development,and their working principles,advantages and disadvantages were described in detail.
介绍了目前研究较多的集成MEMS传感器、胎面阻抗传感器、超声波传感器、电磁传感器、无源无线声表面波传感器和虚拟传感器的发展,阐述了工作原理和优缺点。
2)  MEMS sensor
MEMS传感器
1.
Studying MEMS sensor of oil exploration;
石油勘探MEMS传感器的研究
2.
In the telemetry of rocket and cannon projectiles,we can use IMU based on MEMS sensors to measure flying attitude of projectile.
在弹箭飞行遥测中,采用基于MEMS传感器的惯性测量组合(IMU)来测试弹箭飞行姿态数据,该方法构成的测试系统体积小、抗过载高、功耗低、数据处理简单直观可靠、对弹载结构改动不大且成本低。
3.
Batch microassembly of MEMS sensors is limited by the manual manipulation required specially trained technicians.
手工操作限制了MEMS传感器的批量生产。
3)  Integrated Sensor
集成传感器
1.
A method to make a temperature recorder with integrated sensor and IC card is introduced in this paper.
介绍用集成传感器和IC卡制作温度记录器的方法。
2.
Then,the fabrication process sequence and experiments for the integrated sensor are given.
压力、温度和湿度集成传感器具有体积小、成本低和可批量生产等优点,在环境监测和工业控制等领域应用广泛。
4)  sensor integration
传感器集成
5)  monolithic multi-sensor
集成传感器
1.
This monolithic multi-sensor is fabricated with SOI wafer,which consists of a three-axis piezoresistive accelerometer,a piezoresistive absolute pressure sensor and a silicon thermistor temperature sensor.
结合芯片中各传感器的工作原理,用有限元方法对设计的结构进行了仿真,确定集成传感器的电阻分布和结构参数。
6)  multi-sensor
集成传感器
1.
To investigate the sensor packaging effect,the finite element method is adopted for analyzing the distribution of residual stress in the multi-sensor chip with FR4 substrates.
针对集成传感器芯片封装粘贴过程中的残余应力影响器件性能的问题,使用有限元方法对环氧粘胶粘贴集成传感器芯片产生的封装残余应力进行了分析。
补充资料:变压器式传感器
      利用变压器作用原理把被测位移转换为初、次级线圈互感变化的变磁阻式传感器。它由两个或多个带铁心的线圈构成,初、次级线圈间的互感能随衔铁或两个线圈间的相对移动而改变。当用适当频率的电压激励初级线圈时,次级线圈的输出电压将随互感的改变而变化,从而将被测位移转换为电压输出。这种传感器在使用中常采取两个同名端串接的次级绕组线圈,以差动方式输出,所以又称为差动变压器式传感器。变压器式传感器的特点与电感式传感器相同,有时亦称电感式传感器。但变压器式传感器在设计上具有更大的灵活性,应用更为广泛。旋转变压器、感应同步器、自整角机都属于变压器式传感器。变压器式传感器主要用于测量位移和能转换成位移量的力、张力、压力、压差、加速度、应变、流量、厚度、比重、转矩等参量。
  

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