1) MEMS pressure sensor
MEMS压力传感器
1.
This paper aims at MEMS phenomenon of MEMS pressure sensor temperature drifts.
文中针对MEMS压力传感器的温度漂移的现象,作了温度漂移原因的分析,以及采取了合适的温度补偿方法,设计了合适的温度补偿电路,通过实验取得了较好的效果。
2.
RF MEMS capacitive switch and capacitive MEMS pressure sensor were used for developing the techniques for investigation of reliability and testability of MEMS devices.
鉴于MEMS器件的门类、品种繁多、所用的敏感材料各异以及MEMS制造技术的多样性和复杂性,本论文则主要针对两种典型的MEMS器件(RF MEMS开关与电容式MEMS压力传感器)进行相关的研究,为MEMS器件更进一步的发展提供技术的积累。
3.
In order to solve the problem of temperature drift in the pressure testing of the aircraft aerodynamic parameters,a calibration system of MEMS pressure sensor based on MAX1452 was presented.
为解决飞行器气动参数测试系统中压力测量时的温度漂移问题,设计了一种基于MAX1452的MEMS压力传感器校准系统。
2) MEMS micro force sensor
MEMS微力传感器
3) MEMS sensor
MEMS传感器
1.
Studying MEMS sensor of oil exploration;
石油勘探MEMS传感器的研究
2.
In the telemetry of rocket and cannon projectiles,we can use IMU based on MEMS sensors to measure flying attitude of projectile.
在弹箭飞行遥测中,采用基于MEMS传感器的惯性测量组合(IMU)来测试弹箭飞行姿态数据,该方法构成的测试系统体积小、抗过载高、功耗低、数据处理简单直观可靠、对弹载结构改动不大且成本低。
3.
Batch microassembly of MEMS sensors is limited by the manual manipulation required specially trained technicians.
手工操作限制了MEMS传感器的批量生产。
4) MEMS inertial sensor
MEMS惯性传感器
1.
Leveling control system of laser-controlled land leveler for paddy field based on MEMS inertial sensor fusion;
基于MEMS惯性传感器融合的水田激光平地机水平控制系统
2.
Attitude determination system with low cost magnetic and MEMS inertial sensors;
基于低成本磁场和MEMS惯性传感器的姿态测定系统(英文)
5) integrated MEMS sensor
集成MEMS传感器
1.
The sensors including integrated MEMS sensors,tire tread impedance sensors,ultrasonic sensors,electromagnetic sensors,wireless passive surface acoustic wave sensors and virtual sensor were introduced,and their present development,and their working principles,advantages and disadvantages were described in detail.
介绍了目前研究较多的集成MEMS传感器、胎面阻抗传感器、超声波传感器、电磁传感器、无源无线声表面波传感器和虚拟传感器的发展,阐述了工作原理和优缺点。
补充资料：差动变压器式压力传感器
由弹性敏感元件和差动变压器构成的压力传感器。它的弹性敏感元件作为受力机构，把被测压力转换成位移，再用差动变压器把位移转换为与被测压力成一定关系的电信号。差动变压器属于电感式传感器，所以差动变压器式压力传感器又称电感式压力传感器。利用弹性敏感元件的不同形式可制成多种用途的差动变压器式压力传感器。图a中是3种差动变压器式压力传感器的结构示意图。图a中的弹性敏感元件为弹簧管（见波登管），它的自由端与差动变压器的衔铁相连。当压力作用使弹簧管自由端移动时，衔铁随之移动，使差动变压器次级线圈的输出电压发生变化，再通过标定换算即能测出压力。图b中的弹性敏感元件为膜盒。在无压力作用时，接于膜盒自由面中心的衔铁位于差动变压器的中部，使输出电压为零。当压力输入膜盒后，自由面产生一正比于被测压力的位移，并带动衔铁在差动变压器的线圈中移动，从而使差动变压器有一正比于压力的电压输出。这种传感器适于测量微压力，可测量-4×104～6×104巴的压力,输出电压可达50毫伏。图c的弹性敏感元件为膜片。当高压流和低压流分别通过高压阀和低压阀进入高压室和低压室时，膜片在压力差作用下变形，向低压室移动，使连接其上的拉杆带动衔铁移动，从而使差动变压器输出与压差成一定关系的电压信号。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条