1) stepper
[英]['stepə] [美]['stɛpɚ]
步进光刻机
3) step-and-scan lithography system
步进扫描投影光刻机
1.
Recent progress in technology of wafer stage and reticle stage used in step-and-scan lithography system is introduced, and the overlay accuracy and the accuracy of the overall system are analyzed.
着重介绍了当前国外步进扫描投影光刻机的工件台和掩模台的发展状况,并对套刻精度和整机精度进行了分析。
4) the step and scan lithography
步进扫描式光刻机
1.
According to the vibration characteristic of the step and scan lithography,the vibration reduction system of the vibration isolation platform is designed,and the experimental research on its active vibration control is conclucted.
根据步进扫描式光刻机的振动特点,设计隔振试验平台的减振系统,并对试验平台的主动减振系统进行测试研究。
5) optical stepper lithography
步进式曝光蚀刻
补充资料：步进电动机
| 步进电动机 stepping motor 把电脉冲信号变换成角位移以控制转子转动的微特电机。在自动控制装置中作为执行元件。每输入一个脉冲信号，步进电动机前进一步，故又称脉冲电动机。步进电动机多用于数字式计算机的外部设备，以及打印机、绘图机和磁盘等装置。 步进电动机的驱动电源由变频脉冲信号源、脉冲分配器及脉冲放大器组成，由此驱动电源向电机绕组提供脉冲电流。步进电动机的运行性能决定于电机与驱动电源间的良好配合。 步进电动机分为机电式及磁电式两种基本类型。机电式步进电动机由铁心、线圈、齿轮机构等组成。螺线管线圈通电时将产生磁力，推动其铁心心子运动，通过齿轮机构使输出轴转动一角度，通过抗旋转齿轮使输出转轴保持在新的工作位置；线圈再通电，转轴又转动一角度，依次进行步进运动。 磁电式步进电动机主要有永磁式、反应式和永磁感应子式3种形式。永磁式步进电动机由四相绕组组成。A相绕组通电时， 转子磁钢将转向该相绕组所确定的磁场方向；A 相断电、B 相绕组通电时，就产生一个新的磁场方向，这时，转子就转动一角度而位于新的磁场方向上，被激励相的顺序决定了转子运动方向。永磁式步进电动机消耗功率较小，步矩角较大。缺点是起动频率和运行频率较低。 反应式步进电动机在定、转子铁心的内外表面上设有按一定规律分布的相近齿槽，利用这两种齿槽相对位置变化引起磁路磁阻的变化产生转矩。这种步进电动机步矩角可做到 1°～ 15°，甚至更小，精度容易保证，起动和运行频率较高，但功耗较大，效率较低。 永磁感应子式步进电动机又称混合式步进电动机。是永磁式步进电动机和反应式步进电动机两者的结合，并兼有两者的优点。 |
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参考词条