1) Step and repeat photoetching machines
分步重复光刻机
2) Wafer Stepper
分布重复光刻机
4) mStepper
0.5μm分步光刻机
补充资料:分步重复照相机
分子式:
CAS号:
性质:又称图像重复机。由高分辨率缩微照相镜头(常用十倍或五倍)和程控精密载物台组成的系统。用以制作母版。来自镜头的图像投影倒置于载物台上的感光板上,移动载物台在需要的诸位置上对感光板曝光。
CAS号:
性质:又称图像重复机。由高分辨率缩微照相镜头(常用十倍或五倍)和程控精密载物台组成的系统。用以制作母版。来自镜头的图像投影倒置于载物台上的感光板上,移动载物台在需要的诸位置上对感光板曝光。
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
参考词条