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1)  Stepper [英]['stepə]  [美]['stɛpɚ]
投影光刻机
1.
The Key Craftwork and Technique of Assembling and Adjusting of Projective Lens of Stepper;
投影光刻机镜头的装校关键工艺与技术
2)  scanning projection lithography tool
扫描投影光刻机
3)  automatic projection photoetching machine
自动投影光刻机
4)  Projection lithography
投影光刻
1.
Soft X-ray projection lithography technology;
软X射线投影光刻技术及其发展
2.
Design of diffractive optical elements for off-axis illumination in projection lithography;
投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计
3.
Soft X-ray projection lithography is expected as a candidate for VLSI p roduction in the near future.
软 X射线投影光刻作为特征线宽小于 0 。
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5)  projection photolithography
投影光刻法
6)  193 nm projection lithography
193nm投影光刻
补充资料：投影光刻
分子式：
CAS号：

性质：一种把图像投影在光敏材料上的方法。它可免于光学掩模版和光敏材料涂层的接触。

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参考词条