1) MEMS
微电子机械器件
1.
A Generalized Reynolds Equation For Squeeze-Film Air Damping in MEMS;
微电子机械器件压膜空气阻尼的一般化雷诺方程(英文)
2) Micromachined device
微机械器件
3) MEMS
微电子机械
1.
STUDY ON VIRTUAL DESIGN SYSTEM FOR MEMS;
微电子机械虚拟设计系统研究
2.
In this paper, a new fractal tree-like microchannel heat sink for cooling of electronic chips was fabricated on silicon wafers by advanced MEMS technology.
本文借鉴人体内呼吸循环系统的分形结构,利用微电子机械光刻加工工艺,设计制造了一套新型分形树状微通道微电子芯片散热器。
3.
A fiber Fizeau interferometer for measurement of micro-vibration of MEMS devices is presented, which is simple in configuration and easy to operate.
提出一种结构简单、使用方便的用于微电子机械部件运动状态测量的光纤斐索干涉装置。
4) micro electromechanical system (MEMS)
微机械(微电子机械系统)
5) Micro Electro Mechanical Syetem (MEMS)
微电子机械系统(微机械)
6) MEMS
微电子机械系统
1.
The Development Situation of MEMS;
微电子机械系统(MEMS)发展研究
2.
STUDY ON THE MICRO-TORQUE MEASUREMENT FOR MICRO-ACTUATORS IN MEMS;
微电子机械系统中微致动器力矩测试技术的研究
3.
Application and Package of Military MEMS;
军用微电子机械系统的应用及封装
补充资料：半导体光电子器件
| 半导体光电子器件 semiconductoroptoelectronic device 利用半导体光-电子（或电-光子）转换效应制成的各种功能器件。 分为三大类：①发光二极管 （LED） 和激光二极管（LD）： 将电能转换成光辐射的电致发光器件 。发光管的发散角大，光谱范围宽，寿命长，可靠性高，调制电路简单，成本低，广泛用于速率不太高、传输距离不太远的通信系统，以及显示屏和自动控制等。激光管的光谱较窄、发散角小、方向性强、色散小，于1962 年研制成功后，得到迅速发展，广泛用于大容量、长距离的光纤通信系统以及光电集成电路。缺点是温度特性差，寿命比 LED 短。②光电探测器或光电接收器：通过电子过程探测光信号的器件。即将射到它表面上的光信号转换为电信号，如 PIN光电二极管和雪崩光电二极管（ APD ）等，目前广泛用于光纤通信系统。③ 太阳电池。将光辐射能转换成电能的器件。1954年应用硅PN结首先研制成太阳电池。它能把阳光以高效率直接转换成电能，以低运行成本提供永久性的电力，并且没有污染，为最清洁的能源。根据其结构不同，其效率可达5％～20％。 |
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参考词条