1) Micromechanical Electronics
微机械电子学
2) MEMS
微电子机械
1.
STUDY ON VIRTUAL DESIGN SYSTEM FOR MEMS;
微电子机械虚拟设计系统研究
2.
In this paper, a new fractal tree-like microchannel heat sink for cooling of electronic chips was fabricated on silicon wafers by advanced MEMS technology.
本文借鉴人体内呼吸循环系统的分形结构,利用微电子机械光刻加工工艺,设计制造了一套新型分形树状微通道微电子芯片散热器。
3.
A fiber Fizeau interferometer for measurement of micro-vibration of MEMS devices is presented, which is simple in configuration and easy to operate.
提出一种结构简单、使用方便的用于微电子机械部件运动状态测量的光纤斐索干涉装置。
3) acoustical MEMS
声学微电子机械系统
4) MOEMS
微光学电子机械系统
1.
An Analysis on the Applications of MOEMS Micromirror Arrays;
微光学电子机械系统中的微型反射镜阵列的应用前景
5) micro electromechanical system (MEMS)
微机械(微电子机械系统)
6) Micro Electro Mechanical Syetem (MEMS)
微电子机械系统(微机械)
补充资料：机械电子学
研究将电子器件的信息处理和控制功能附加或融合在机械装置中的一种复合化技术。俗称机电一体化。机械电子学 (mechatronics)是由机械学(mechanics)和电子学 (electronics)两个词结合而成的新词。机械电子学主要研究目的是把机械技术与微电子技术和信息技术有机地结合为一体，实现整个系统的最优化。机械电子学可以充分发挥机械技术、微电子技术和信息技术的各自的长处和特点，促进机械产品的更新换代。机械电子学系统主要由机械主体、传感器、信息处理和执行机构等部分组成。较高级的系统不但有硬件，而且还有相应的软件,利用软件技术可以实现硬件难以实现的功能,使机械系统增加柔性。典型的机械电子系统有数控机床、加工中心、工业机器人等。机械电子学技术除用于单个机器、设备或一般的生产系统的技术改造之外，还用于柔性制造系统、计算机集成制造系统、工厂自动化、办公自动化、家庭自动化等方面。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条