2) Electrostatic comb actuator
静电梳状驱动器
4) electrostatic repulsive actuators
静电排斥驱动器
5) electrostatic actuation
静电驱动
1.
The method of electrostatic actuation and induced electromotive force(EMF) detection were put forward according to the structural feature of the nano-beam.
利用氧化、光刻、刻蚀、溅射等传统MEMS加工工艺,在绝缘衬底上的硅(SOI)基片上制作出一种厚度只有50 nm的双端固支结构的硅纳米谐振梁;在实验室条件下,针对实验中谐振梁的结构特点,提出了静电激励与感生电动势检测(EMF)的测量方法,并利用专业的Conventorware MEMS仿真软件及ANSYS有限元分析软件,定量地给出合适的静电驱动电压,同时初步估算了梁谐振时将会产生的感生电动势的大小,并对此分析结果提出了相应的测试电路,为下一步对这种超薄纳米梁的实际测试工作提供了可行性的理论参考。
2.
In the design of Micro-Electromechanical Systems CMEMS) devices, an important method is called the electrostatic actuation, which is based on an electrostatic-controlled tunablecapacitor.
在微机电系统(MEMS)装置设计方面,一种很重要的方法被称为静电驱动。
6) electrostatically actuated
静电驱动
1.
Electrostatically actuated microelectromechanical deformable mirrors;
一种静电驱动微机械变形反射镜
2.
An electrostatically actuated micromechanical beam was developed as the basic structural unit of a programmable phase grating based on microoptoelectromechanical systems (MOEMS).
静电驱动的微机械装置是许多微机电系统(MEMS)中的重要模块。
补充资料:ZIP驱动器的分类
ZIP驱动器分为内置式和外置式两种,内置的接口类型有IDE和SCSI接口,外置的分为USB和1394,再早一点还有并口的产品。
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
参考词条