1) fluorinated amorphous carbon
氟化非晶碳
1.
Low-dielectric-constant fluorinated amorphous carbon films prepared by ECR-CVD;
ECR-CVD制备氟化非晶碳低k介质薄膜
2) fluorinated amorphous carbon film
氟化非晶碳薄膜
1.
As one of promising interlay dielectrics used in the future ULSI, fluorinated amorphous carbon film (a-C: F) has been attracted intensively.
利用静电探针和光强标定的发射光谱(AOES)研究了CHF_3、CHF_3／C_6H_6气体ECR放电等离子体的特性及氟化非晶碳薄膜(a-C：F)的结构与等离子体空间基团分布的关系。
3) a C:F
氟化非晶态碳膜
1.
Amorphous fluorinated carbon(a C∶F) films were grown on Si(100) substrate with plasma immersion ion implantation(PIII) in a mixture of CH 4 and CF 4 gases to study the influence of substrate bias voltage on various properties of the film,including its microstructures,its nano hardness and its hydrophobic properties.
为了研究基体负的低偏压Vb 对氟化非晶态碳膜的结构、纳米硬度和疏水性能的影响 ,采用等离子体浸没与离子注入装置 ,CF4和CH4作为气源 ,在不同的基体偏压下制备了一系列氟化非晶态碳膜。
4) fluorinated amorphous carbon film
氟化非晶碳膜
1.
Relationship between thermal stabilty and optical bandgap of fluorinated amorphous carbon films;
通过傅里叶变换红外吸收谱和紫外 可见光谱获得了薄膜中CC双键的相对含量和光学带隙 ,发现膜中CC键含量与光学带隙之间存在着密切的关联 ,在高微波功率下沉积的氟化非晶碳膜具有低的光学带隙和较好的热稳定性 。
5) a_-C:F:N films
氮掺杂氟化非晶碳薄膜
6) fluorinated amorphous hydrocarbon film
氟化非晶碳氢薄膜
1.
Infrared structure and electrical characteristics of the fluorinated amorphous hydrocarbon film;
氟化非晶碳氢薄膜的红外结构及其电学特性
补充资料：非晶态氟聚合物
分子式：
CAS号：
性质：是四氟乙烯和全氟-2,2-二甲基-4,5-二氟-1,3-二噁茂的无定形共聚物。无明显熔点，玻璃化温度随共聚物组成比改变。除有聚四氟乙烯和聚全氟乙丙烯的优异性能外，还具有折光指数低，透明度高，透光率>95％等特点。对紫外线稳定，不发生光老化。介电常数和介电损耗较小。负荷下强度和抗变形性好，耐开裂，蠕变小，摩擦系数大，热稳定性、制品尺寸稳定性好。可挤出、注塑、模压成型。也可适量溶于特殊的氟碳溶剂用作涂料或制取极薄的薄膜。适用于医学、军用、宇航领域光学器械的透光、防腐蚀、绝缘的材料，光学纤维壳材、高速计算机中电路的介电层以及脱模涂层、气液分离膜、生物医学器械中提高光学传感材料。
CAS号：
性质：是四氟乙烯和全氟-2,2-二甲基-4,5-二氟-1,3-二噁茂的无定形共聚物。无明显熔点，玻璃化温度随共聚物组成比改变。除有聚四氟乙烯和聚全氟乙丙烯的优异性能外，还具有折光指数低，透明度高，透光率>95％等特点。对紫外线稳定，不发生光老化。介电常数和介电损耗较小。负荷下强度和抗变形性好，耐开裂，蠕变小，摩擦系数大，热稳定性、制品尺寸稳定性好。可挤出、注塑、模压成型。也可适量溶于特殊的氟碳溶剂用作涂料或制取极薄的薄膜。适用于医学、军用、宇航领域光学器械的透光、防腐蚀、绝缘的材料，光学纤维壳材、高速计算机中电路的介电层以及脱模涂层、气液分离膜、生物医学器械中提高光学传感材料。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条