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1)  silicon micromachining
硅微加工
2)  micromechanical silicon
微加工硅
3)  Si micromachining
硅微细加工
4)  non-silicon micromachining technology
非硅微加工
1.
Moreover,the stainless steel μ-DMFC is fabricated using a non-silicon micromachining technology,and it can offer an open circuit voltage of 650 mV and a peak power density of 15.
9mW/cm2;利用非硅微加工技术完成的不锈钢微型直接甲醇燃料电池,在室温下用2mol/L甲醇溶液供液时开路输出电压为650mV,最大输出功率密度达到15。
5)  bulk silicon micromachining
体硅微加工工艺
6)  non-silicon surface micromachining
非硅表面微加工
1.
Design and dynamics simulation of MEMS inertia micro-switch based on non-silicon surface micromachining;
基于非硅表面微加工的MEMS惯性开关设计与动力学仿真
补充资料:"球粒"硅微粉

“球粒”硅微粉在国内罕见。矿产资源研究所掌握全国范围内的矿产资源和先进的矿产品加工技术,选用高品质石英原矿,经独特工艺加工而成的一种高强度、高硬度、惰性的球型颗粒,其主要成-分sio2含量99.6%以上,密度为2.65,莫氏硬度为7,细度在325目至5000目之间,白度在70-94之间, 具有合理可控的粒度范围,外观为白色粉末状。

经电镜分析,硅微粉颗粒形态为近等轴状六角多面体形,被称为“球形”颗粒。

硅微粉主要由微晶质石英组成,sio2含量大于99.50%, 硅微粉中有害元素含量极低,均低于检出极限。

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