1) microwave ECR CVD
微波ECR-CVD
2) Microwave ECR
微波ECR
1.
Microwave ECR plasma diagnosis in aPSII system with Langmuir probe;
PSII系统中微波ECR等离子体的朗缪尔探针诊断
3) microwave-ECR
微波-ECR
1.
We obtained the SiCN thin films by microwave-ECR plasma enhanced unbalanced magnetron sputtering technique) studied the chemical structure and mechanic properties.
本文采用微波-ECR等离子体增强非平衡磁控溅射技术制备SiCN薄膜,并对薄膜的化学结构、力学性能进行了表征。
4) microwave CVD
微波CVD
1.
Diamond films necleus and its growth when deposited by microwave CVD on hard alloys are investigated.
采用微波CVD法对硬质含金表面金刚石的形核和金刚石薄膜的沉积进行了探索性研究，用激光喇曼谱仪对金刚石进行表征。
5) ECR CVD system
ECR CVD系统
6) microwave chemical vapor deposition
微波CVD技术
补充资料：CVD method activated carbon fiber
分子式：
CAS号：
性质：由化学气相沉积法碳纤维而得的纤维。纤维直径0.5～1.0μm，形状长宽比为100～1000，电阻率1.0×10-3Ω·cm，结晶性良，纯度高，微孔径分布范围窄，均一性优良。原料采用乙烯，载体气体为氢气，在氢中的原料浓度为5%（vol），触媒粒子为二茂铁，用10.59μm的CO2激光照射，在常压下的石英反应器中滞留1h，便制得气相法碳纤维，再于1000℃的CO2中活化20min而得产品。用途为各种吸附剂和电子材料。
CAS号：
性质：由化学气相沉积法碳纤维而得的纤维。纤维直径0.5～1.0μm，形状长宽比为100～1000，电阻率1.0×10-3Ω·cm，结晶性良，纯度高，微孔径分布范围窄，均一性优良。原料采用乙烯，载体气体为氢气，在氢中的原料浓度为5%（vol），触媒粒子为二茂铁，用10.59μm的CO2激光照射，在常压下的石英反应器中滞留1h，便制得气相法碳纤维，再于1000℃的CO2中活化20min而得产品。用途为各种吸附剂和电子材料。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条