1) MWPECR
微波等离子体ECR技术
2) Microwave ECR plasma
微波ECR等离子体
1.
This system is applied to the measurement of microwave ECR plasma inner parameters and proved to work well.
将该系统应用于微波ECR等离子体参数的测定,经实验测试效果较好。
2.
With these advantages, Microwave ECR plasma finds number of applications in the areas of etching technologies, thin film deposition and plasma source.
微波ECR等离子体还具有无内极放电和放电离子低溅射率的优点,正是由于这些优点,使其在刻蚀技术、薄膜制备技术和离子源等方面得到了广泛应用。
3) Microwave-ECR Plasma
微波ECR等离子体
4) ECR microwave plasma
ECR微波等离子体
1.
Monte Carlo method is used to simulate such a complete course, in which the ions pass through the neutral region, the sheath, and the shield region of a virtual cathode formed by secondary electrons near the workpiece surface, finally come to be absorbed by the surface of the workpiece with negative bias in ECR microwave plasma.
建立了ECR微波等离子体源离子输运的平板和圆柱模型 ,对离子历经的空间区域的输运过程进行了数值研究 。
6) MW-ECR Plasma Source
微波-ECR等离子体源
补充资料：电感耦合微波等离子体焰炬
分子式：
CAS号：
性质： 由微波感生、用于发射光谱分析的等离子体光源。将发生等离子体焰炬的石英管，置于微波谐振腔中，以2450MHz的微波激发。产生的光谱简单，背景低，耗气与耗电量小。
CAS号：
性质： 由微波感生、用于发射光谱分析的等离子体光源。将发生等离子体焰炬的石英管，置于微波谐振腔中，以2450MHz的微波激发。产生的光谱简单，背景低，耗气与耗电量小。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条