1) C 3B 3O 5 crystal
三硼酸铯晶体
4) lithium triborate LiB_3O_5 crystal
三硼酸锂LiB_3O_5晶体
5) bismuth triborate crystal
三硼酸铋晶体
6) CLBO
硼酸锂铯
1.
The application foreground of CLBO and the problems of it in CMP process were introduced.
介绍了硼酸锂铯(CLBO)晶体的应用前景及在化学机械抛光过程中存在的问题,简要分析了晶体在常温下开裂的机理,选用无水溶剂对晶体进行化学机械抛光以防止加工过程中晶体的潮解开裂。
补充资料：硼酸锂晶体
分子式： Li2B4O7
CAS号：
性质：无色透明晶体。四方晶结构。密度2.45g/cm3。莫氏硬度6～7。折射率n0=1.622。透光范围0.3～2.2μm。不同切向基片上的声速5056～4230m/s，热膨胀系数11.1×10-6/℃。抗压强度6.55MPa。易溶于酸，缓慢溶于碱。体波机电耦合系数K33为0.42。采用提拉法和坩埚下降法生长晶体。用于制造高频、中等带宽、低插入损耗和小型化声表面波器件和滤波器件。
CAS号：
性质：无色透明晶体。四方晶结构。密度2.45g/cm3。莫氏硬度6～7。折射率n0=1.622。透光范围0.3～2.2μm。不同切向基片上的声速5056～4230m/s，热膨胀系数11.1×10-6/℃。抗压强度6.55MPa。易溶于酸，缓慢溶于碱。体波机电耦合系数K33为0.42。采用提拉法和坩埚下降法生长晶体。用于制造高频、中等带宽、低插入损耗和小型化声表面波器件和滤波器件。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条