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1)  Polished single crystal silicon wafer
硅单晶抛光片
2)  Silicon wafer polished both sides
双面抛光硅单晶
3)  polishing agent for mono-crystalline silicon
单晶硅抛光剂
4)  polished monocrystal germanium wafer
锗单晶抛光片
5)  silicon wafer polishing
硅片抛光
6)  polished silicon wafer
抛光硅片
1.
In this work, the iron contamination on the polished silicon wafers fabricated by different procedures has been probed by SPV, and then the dominant iron contamination sources during the fabrication process have been found.
本文通过SPV法测试不同流程制造的P型抛光硅片中的铁沾污 ,找到了在P型抛光硅片制造工艺过程中引入铁沾污的主要来源。
补充资料:直径6英寸硅单晶及单晶炉


直径6英寸硅单晶及单晶炉


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