补充资料：声学显微术

声学显微术
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声学显微术 acoustic microscopy利用样品弹％性质的差别，用声成象方法产生高反差、高放大倍数的显微成象技术。高频声波在液体中有很短的波长。在室温下，100～3000MHz的超声波在水中的波长为15～0．5“m，与光波长相近。声学显微镜的分辨能力已达到光学显微镜同样的量级(见光学显微术)。声学显微术用来表征物质的微弹性结构，也可发现物体内部隐藏的缺陷或损伤，广泛用于研究集成电路微结构、材料微结构、生物细胞结构等，还能用于观测不透光物质的内部．以及生物医学中的活体检测。 声学成象往往采用扫描成象技术。利用声波与导声介质的相互作用，按照一定的取样孔径和扫描方式如栅格式扫描方式，逐点测量介质对声波的反作用并记录下来，然后把接收到的信号转换成电信号，用来调制作同步扫描的显象管的电子束，于是在显象屏上得到物体的可见的声学显微象。产生和接收声波可用电子学、光学或热学等手段形成的以下各种声学显微镜。 ①扫描声显微镜(SAM)：应用压电聚焦探头产生和检测声波。聚焦探头由蓝宝石基体、压电薄膜和声透镜构成。压电薄膜用于转换电磁能量与声能量。声透镜是将声耦合液中的声束聚焦成直径接近于声波长的焦斑。样品置于焦平面上并用机械方法相对于声波作栅格式扫描。接收与发射聚焦探头构成共焦系统。SAM分辨率高，所得图象反差大。对晶界、狭长孪晶等可得到比光学显微象大得多的反差。 ②激光扫描声显微镜(SLAM)：使用不聚焦的超声波照射样品和高速扫描的聚焦激光束读出声图象信息。声波在样品表面产生的振动使聚焦在该表面的激光束的反射方向改变，用一个刀口——光电管系统解调就取得图象信息。SLAM的分辨率取决于所用声波波长，而且还受激光束直径大小的限制。其灵敏度较SAM低，但工作速度可达SAM的300倍。 ③光声显微镜(PAM)：用激光照射样品，利用热弹效应产生声波。激光由斩波器调制并聚焦于样品表面。样品作两维机械扫描，由位于样品附近的微音器接收声波。因其非接触测量的特性而很适合于检测集成电路结构以及处于恶劣环境条件下的材料表面和亚表面结构。 声全息显微术(SAM)的焦深很小，为几个声波长量级，即微米尺度。利用声全息方法成象可获得很大焦深(见声全息图)。(沈建中)

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