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1)  decrease of SiO_2 layer thickness
SiO2栅介质减薄
2)  ultra-thin SiO 2 gate dielectrics
超薄SiO2栅介质
3)  SiO2 gate dielectrics
SiO2栅介质
1.
Some problems of SiO2 gate dielectrics, requirements for high k materials as MOSFET gate dielectrics and the latest development of high k gate dielectrics instead of traditional SiO2 were reviewed.
综述了超薄SiO2栅介质层引起的问题、MOS栅介质层材料的要求、有希望取代传统SiO2的高k栅介质材料的研究进展。
4)  ultra-thin Si 3N 4/SiO 2(N/O)stack gate dielectrics
超薄Si3N4/SiO2(N/O)stack栅介质
5)  ultra-thin N/O stack gate dielectrics
超薄Si3N4/SiO2叠层栅介质
6)  gate dielectric film
栅介质薄层
补充资料:减薄
1.亦作"减薄"。 2.降低;减弱。
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参考词条