补充资料：光致溶解型感光高分子

分子式：
CAS号：

性质：指在光的作用下溶解度升高的高分子材料。包括光降解型高分子和溶解性能倒转高分子。前者分解后分子量减小，溶解度往往会大幅度增加，后者在光作用下引发光化学反应，某些反应的产物溶解性质会发生较大变化(如油溶性转变成水溶性，或者相反)。在作为正性光刻蚀剂使用时为了提高速度和效率多添加增感剂或者使用能量较高的光线照射。有关光致溶解型感光高分子的性能和特点参见光分解型感光高分子(photodecomposing photosensitive polymer)和光降解型感光高分子(photodegradable photosensitive polymer)，光致溶解型感光高分子主要作为正性光刻蚀剂使用。

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