1) bias-enhanced hot filament CVD
偏压增强热丝CVD
2) bias enhanced HFCVD
偏压增强热丝CVD法
3) Electron assisted hot filament CVD
电子增强热打丝CVD
4) Electron assistant hot filament CVD
电子增强热灯丝CVD方法
5) HFCVD
热丝CVD
1.
To improve the quality of Ta Spinnerets with high hardness and alkali-proof corrosion,HFCVD is used to deposit crystalline diamond films with different sizes of grain on carbonized Ta spinnerets.
为改善钽喷丝头的品质,提高其硬度和耐碱腐蚀能力,利用热丝CVD制备不同粒径的金刚石薄膜,并通过对钽衬底的碳化处理,成功使之沉积于纯钽喷丝头表面,对纯钽喷丝头进行表面强化。
2.
The effects of none-diamond phase carbon components of diamond thin film on the morphologies of diamond grains in diamond thin film made by HFCVD were studied by means of Ramanspectra and SEM.
应用Raman光谱和SEM方法研究了在用热丝CVD方法生长金刚石薄膜中,生长膜中非金刚石相碳成分对金刚石晶粒晶形的影响。
3.
The effect of the deposition conditions on the graphite or amorphous carbon component in the formation of diamond thin films by HFCVD method was studied.
在用热丝CVD方法生长金刚石薄膜中,研究了生长条件对制备膜中石墨和非晶碳成份的影响,发现较高的碳源浓度或较低的衬底温度会使制备膜中非金刚石相碳成份增加。
补充资料：化学气相沉积碳化硅纤维增强金属间化合物复合材料CVD
分子式：
CAS号：
性质：碳化硅连续纤维增强金属间化合物基体的金属基复合材料。碳化硅纤维一般选用SCS-6，其体积含量一般约40％左右。金属间化合物基体主要是各种铝化物，有代表性的金属间化合物基体如钛铝化合物牛的Ti3Al基合金，复合材料如SCS-6/Ti-24Al-11Nb。此类复合材料的制备工艺主要有真空热压、热等静压、超塑成型/扩散结合和电子束气相沉积等。碳化硅连续纤维增强金属间化合物基复合材料比铝基和钛基复合材料有更高的使用温度，可达700℃以上，同时兼有很好的比强度和比模量，其室温断裂韧性可达110～150MPa·m1/2。此类复合材料主要用于航空航天飞行器中的主承力构件。(1)铝基复合材料。一种连续纤维增强金属基复合材料，具有很高的比强度和比刚度。一般含纤维45％～50％(vol)，单向增强时纵向拉伸强度约为1250～1600MPa，模量210～240GPa，密度依碳芯纤维与钨芯纤维不同，分别为2.85与3.05g/cm3。通常用热压扩散结合或液态渗透工艺制造。为避免与基体的有害反应，纤维表面涂有一层不同结构的富碳涂层。采用热压工艺时基体一般用纯铝或LD2铝合金，铸造工艺多用铝硅系铸造合金。(2)钛基复合材料。以CVD碳化硅连续纤维增强钛合金基体的金属基复合材料。碳化硅纤维一般选用SCS-6，其体积含量一般约40％左右。钛合金基体可以选用。钛合金(如Ti-5Al-2.5Sn)、α+β钛合金(如Ti-6Al-4V)、近β钛合金(如:Ti-10V-2Fe-3Al)和β钛合金(如:Ti—15V-3Cr-3Sn-3Al)。此类复合材料的制备工艺主要有真空热压、热等静压和超塑成型/扩散结合等方法。碳化硅连续纤维增强钛基复合材料比铝基复合材料有更高的使用温度，可达600℃以上，并具有优异的抗腐蚀性能和力学性能，例如：以SCS-6纤维增强Ti-6Al-4V合金基体的钛基复合材料的室温拉伸强度可达1690MPa，拉伸模量可达240GPa。此类复合材料的主要应用领域是航空航天飞行器中的主承力构件。
CAS号：
性质：碳化硅连续纤维增强金属间化合物基体的金属基复合材料。碳化硅纤维一般选用SCS-6，其体积含量一般约40％左右。金属间化合物基体主要是各种铝化物，有代表性的金属间化合物基体如钛铝化合物牛的Ti3Al基合金，复合材料如SCS-6/Ti-24Al-11Nb。此类复合材料的制备工艺主要有真空热压、热等静压、超塑成型/扩散结合和电子束气相沉积等。碳化硅连续纤维增强金属间化合物基复合材料比铝基和钛基复合材料有更高的使用温度，可达700℃以上，同时兼有很好的比强度和比模量，其室温断裂韧性可达110～150MPa·m1/2。此类复合材料主要用于航空航天飞行器中的主承力构件。(1)铝基复合材料。一种连续纤维增强金属基复合材料，具有很高的比强度和比刚度。一般含纤维45％～50％(vol)，单向增强时纵向拉伸强度约为1250～1600MPa，模量210～240GPa，密度依碳芯纤维与钨芯纤维不同，分别为2.85与3.05g/cm3。通常用热压扩散结合或液态渗透工艺制造。为避免与基体的有害反应，纤维表面涂有一层不同结构的富碳涂层。采用热压工艺时基体一般用纯铝或LD2铝合金，铸造工艺多用铝硅系铸造合金。(2)钛基复合材料。以CVD碳化硅连续纤维增强钛合金基体的金属基复合材料。碳化硅纤维一般选用SCS-6，其体积含量一般约40％左右。钛合金基体可以选用。钛合金(如Ti-5Al-2.5Sn)、α+β钛合金(如Ti-6Al-4V)、近β钛合金(如:Ti-10V-2Fe-3Al)和β钛合金(如:Ti—15V-3Cr-3Sn-3Al)。此类复合材料的制备工艺主要有真空热压、热等静压和超塑成型/扩散结合等方法。碳化硅连续纤维增强钛基复合材料比铝基复合材料有更高的使用温度，可达600℃以上，并具有优异的抗腐蚀性能和力学性能，例如：以SCS-6纤维增强Ti-6Al-4V合金基体的钛基复合材料的室温拉伸强度可达1690MPa，拉伸模量可达240GPa。此类复合材料的主要应用领域是航空航天飞行器中的主承力构件。
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参考词条