1) nano/MEMS
纳/微机械
1.
Chemical Mechanical Polishing(CMP) is widely used in nano/MEMS fabrication processing,especially in Complex multi-layer Structure.
机械化学抛光(CMP)工艺普遍应用于纳/微机械制造中,特别是复杂的层状结构MEMS。
2) micro chemical machinery
微/纳机械系统
3) mechanical admittance
机械导纳
1.
The mechanical admittance function of gun-shoulder system is procured by using electronic measuring data.
该文针对立姿无依托连发射击的情况建立了枪肩系统的抵肩力及枪肩运动的电测系统,利用电测数据求取了枪肩系统的机械导纳函数,采用正交分量法对枪肩系统的导纳函数进行了模态识别,并探讨了连发武器系统被动态与主动态的主要差异,即刚度、质量及阻尼有所不同,但曲线的变化规律及各峰出现的频率基本一致。
4) nano-machine
纳机械
1.
Nano-actuators are sorted into conventional dimension nano-actuators,micro scale nano-actuators and nano-machine actuators.
根据特征尺寸分为毫米尺度以上的宏机械纳米致动器、制作在芯片上的微米尺度纳米致动器及分子尺度的纳机械致动器,它们的共同特征是可以实现纳米级精度的机械驱动和定位。
5) nano machine
纳米机械
1.
The phonon Green function of staff made with monatomic simple cubic crystal in nano machine and micro machine is deduced with Dyson equation in this article.
应用量子统计理论中的Dyson方程推导了具有简单立方单原子晶体结构的纳米机械和微机械中杆的声子格林函数 ,并以此为基础 ,对晶格振动进行量子化 ,为应用量子理论研究MEMS及其构件奠定了基础。
6) mechanical mobility
机械导纳
1.
Based on its characteristics,mechanical mobility and structural dynamics,some analytical formulae for three different plate assemblies with BBD are derived.
本文基于它的作用机理和机械导纳与弹性结构动力学理论，推导了三种不同ＢＢＤ板结构振动功率流的解析表达式。
补充资料：机械导纳
见机械阻抗。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条