1) MEMS
微机械
1.
The Application of Nanometer Material and Technology Field of MEMS;
纳米材料与技术在微机械领域中的应用
2.
ELECTRODEPOSITED Fe-Ni ALLOY FILMS FOR MEMS APPLICATIONS;
用于微机械器件的电镀Fe-Ni合金薄膜的研究
3.
LASER THREE DIMENSIONAL MICROMACHINING FOR MEMS;
微机械系统三维微结构的激光加工技术
2) micromachine
[,maikrəumə'ʃi:n]
微机械
1.
FEM analysis of micromachined airflow accelerometer’s sensitive mechanism;
微机械气流式加速度计敏感机理的有限元分析
2.
Present state and perspectives of micromachined inertial sensors;
微机械惯性传感器的技术现状及展望
3.
A Novel Silicon Micromachined Gyroscope;
一种新型微机械陀螺的研究
3) micromachining
[,maikrəumə'ʃi:niŋ]
微机械
1.
A Study on 1kPa Low-pressure Sensor with a Micromachining Structure;
1kPa 微机械结构微压传感器的研究
2.
Based on bulk micromachining,SU-8 photoresist processing and piezoresistive sensing technologies,a novel 2-D flow sensor is introduced firstly where a pillar-beam structure converts the flow velocity and direction into the deflection of the pillar and corresponding deformation of the beams.
本文设计了一种基于体微机械加工技术、SU-8-光刻胶工艺和压阻检测的新型硅压阻式流速流向传感器。
3.
To meet the needs of miniaturized Bluetooth devices, the paper presents a cavity shorted microstrip antenna manufactured by micromachining process.
集成电路与微机械天线对于基底介质的要求不同 ,前者需要高介电常数的介质 ,而后者所需介质的介电常数则较低 ,要将两者集成到一起存在一定困难。
4) micromechanical
微机械
1.
Design for electrostatically levitated micromechanical accelerometer;
静电悬浮微机械加速度计设计
2.
A Study on Micromechanical Differential Capacitive Pressure Sensor;
微机械差动电容压力传感器的研究
3.
Novel Force-balanced Micromechanical Vacuum Sensors;
新型力平衡微机械真空传感器研究
5) micro-machine
微机械
1.
Melting property of rod in nano-machine and micro-machine;
纳米机械和微机械中杆的熔化性质
2.
Study on the mechanical stiffness of the flexible beams in a micro-machined accelerometer;
微机械加速度计挠性梁机械刚度的实验研究
3.
In the micro-machine,the construction size of parts not only is small but also is made of flexible material.
由于微机械中的零件结构尺寸小,并且有些采用柔性材料制造,采用接触式的测量方法检测受到限制,寻求有效的微测量手段已成为国际微机械研究的热点之一。
6) micro mechanism
微型机械
1.
Micro mechanism has a super little shape and characteristics of least influence from factors such as heat swell, noise and wind, working stably at high speed,low energy waste, little inertia, high resonance frequency, short response time, no delay, saving materials and low costs.
微型机械具有体形超小,受热胀、噪声和挠曲等影响甚微,高速工作稳定,能耗低,惯性小,谐振频率高,响应时间短,无延迟,节约材料、成本低等特点,可用蚀刻工艺制作,适宜大批量生产。
补充资料：微粒机械运动
分子式：
CAS号：
性质：微粒的机械运动具有抛射运动、重力沉降及离心沉降3种运动方式。(1)抛射运动：当微粒以一定速度抛射入气体，在阻力作用下作减速运动。随着与气体的相对运动速度减小，受到的阻力也减小。要求微粒达到完全静止需要经过相当长的时间。(2)重力沉降：指依靠地球引力场的作用而发生沉降过程，也就是依靠重力，利用分散物质(微粒)与分散介质(气体或废气)的密度差异，使之发生相对运动而分离的过程。重力沉降的效率，与气流速度、沉降室结构、微粒大小和密度、气体密度等因素有关。(3)离心沉降：在旋转气流中，微粒随气流作圆周运动。这种离心力是用以获得粒子同气体分离的一种简单机制，它比单独靠重力获得的分离力大得多。旋风除尘器是应用离心分离作用的一种除尘装置，也是造成旋转运动或涡旋的一种体系。重力沉降和离心沉降是化工过程中气-固混合物的分离方法，也是环境保护中净化废气的重要措施之一。
CAS号：
性质：微粒的机械运动具有抛射运动、重力沉降及离心沉降3种运动方式。(1)抛射运动：当微粒以一定速度抛射入气体，在阻力作用下作减速运动。随着与气体的相对运动速度减小，受到的阻力也减小。要求微粒达到完全静止需要经过相当长的时间。(2)重力沉降：指依靠地球引力场的作用而发生沉降过程，也就是依靠重力，利用分散物质(微粒)与分散介质(气体或废气)的密度差异，使之发生相对运动而分离的过程。重力沉降的效率，与气流速度、沉降室结构、微粒大小和密度、气体密度等因素有关。(3)离心沉降：在旋转气流中，微粒随气流作圆周运动。这种离心力是用以获得粒子同气体分离的一种简单机制，它比单独靠重力获得的分离力大得多。旋风除尘器是应用离心分离作用的一种除尘装置，也是造成旋转运动或涡旋的一种体系。重力沉降和离心沉降是化工过程中气-固混合物的分离方法，也是环境保护中净化废气的重要措施之一。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条