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1)  top-down nano-fabrication processes
微纳超精细加工
1.
The multilayer dielectric thin film reflector fabricated by top-down nano-fabrication processes can be used to realize the spectral reshaping of high power chirped pulses.
利用反应离子束刻蚀等微纳超精细加工而成的多层电介质结构反射镜可在高功率条件下实现啁啾脉冲的光谱整形。
2)  Super-Precision & Minuteness Processing
超精微细加工
3)  Super-Precision & Minuteness Processing
超精密加工和微细加工
4)  ultra miniaturization manufacturing
超精微加工
1.
On the other hand,because of the development of nano technology,it is possible to produce nano die with advanced manufacting nano technology manufacturing and industrializing ultra miniaturization manufacturing.
通过分析新世纪模具制造业的趋势 ,指出结合信息技术、网络技术和先进制造技术是发展的必由之路 ,纳米技术的发展使结合先进纳米制造技术的纳米模具 ,以及产业化超精微加工成为可能。
5)  ultraprecision maching surface
超精细加工表面
6)  micro-ultrasonic machining
超声微细加工
补充资料:超精密加工
超精密加工
ultraprecision machining 
    20世纪60年代为了适应核能、大规模集成电路、激光和航天等尖端技术的需要而发展起来的精度极高的加工技术。超精密加工的精度比传统的精密加工提高了一个以上的数量级。到20世纪80年代,加工尺寸精度可达10纳米(1×10-8米),表面粗糙度达1纳米。超精密加工对工件材质、加工设备、工具、测量和环境等条件都有特殊的要求,需要综合应用精密机械、精密测量、精密伺服系统、计算机控制以及其他先进技术。超精密加工包括:①超精密切削加工。如超精密车削、镜面磨削、研磨等,常用于加工有色金属材料的球面、非球面和平面的反射镜等高精度、表面高度光洁的零件。②超精密特种加工。如机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀、分子束外延等,其原理是应用化学能、电化学能、热能或电能等,使这些能量超越原子间的结合能,从而去除工件表面的部分原子间的附着、结合或晶格变形等,以达到超精密加工的目的。
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