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1)  multi-grade ions implantation
多级离子注入
2)  MeV level He implantation
MeV级3He离子注入
3)  pouring of polyatomic element
多元素离子注入
4)  multi function ion implantation
多功能离子注入
5)  multi-level reinjection
多级注入
1.
This paper discusses a new concept of multi-level reinjection VSC,its main purpose being a further reduction of the harmonic content,a solution of dynamic voltage balancing for direct series connected switching devices and an improvement of high power converter efficiency and reliability.
对一种新型的多级注入式电压源型变流器进行分析和研究。
6)  ion implantation
离子注入
1.
Study on characteristics and technology of ion implantation-assisted electroless copper plating films on Al_2O_3 ceramics;
离子注入辅助Al_2O_3陶瓷表面化学镀镀层特性研究
2.
Application of ion implantation and D-gun spraying technology to improve Operation life for jet element of fluid efflux hammer;
应用离子注入和爆炸喷涂技术提高液动锤射流元件寿命
3.
Application of low energy ion implantation in breeding of high yield CGTase strains;
低能离子注入在CGTase高产菌株选育中的应用
补充资料:离子注入(ionimplantation)
离子注入(ionimplantation)

用离子加速器将各种离子注入半导体材料,从而改变半导体材料的电学、光学或其他物理性质的半导体工艺技术,称为离子注入技术。自从20世纪70年代以来离子注入技术在半导体器件制备工艺中获得了广泛应用,是半导体器件工艺的最主要技术之一。

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