1) extreme ultraviolet
极端紫外
1.
Calculation of quantum efficiency of alkali halide photocathode materials in the extreme ultraviolet region
极端紫外波段碱卤化物光阴极材料量子效率计算
2) extreme-ultraviolet lithography
极端紫外光刻
3) extreme ultraviolet sources
极端远紫外光源
4) extreme ultraviolet supercontinuum
极端远紫外超连续谱
1.
Generation of an ultra-broad extreme ultraviolet supercontinuum in a two-color laser field;
双色激光场中极端远紫外超连续谱相干辐射产生
5) extreme ultraviolet lithography
极端远紫外线光刻
6) EUV extreme ultraviolet lithography
极端紫外平版印刷
补充资料:紫外光刻胶
分子式:
CAS号:
性质:用紫外光作曝光光源的光刻胶。一般是指分光感度波长为300~450nm的近紫外抗蚀剂。紫外光刻胶有负性、正性和正-负性两用三类。负性的代表品种是聚乙烯醇肉桂酸酯、环化橡胶系抗蚀剂,正性代表品种是重氮萘醌系抗蚀剂,正负性抗蚀剂是为了兼顾其既有正性又有负性的性能,往往会给全面照顾抗蚀剂应用上带来一些难题,目前尚未商品化。
CAS号:
性质:用紫外光作曝光光源的光刻胶。一般是指分光感度波长为300~450nm的近紫外抗蚀剂。紫外光刻胶有负性、正性和正-负性两用三类。负性的代表品种是聚乙烯醇肉桂酸酯、环化橡胶系抗蚀剂,正性代表品种是重氮萘醌系抗蚀剂,正负性抗蚀剂是为了兼顾其既有正性又有负性的性能,往往会给全面照顾抗蚀剂应用上带来一些难题,目前尚未商品化。
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
参考词条