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1)  sensor arm
传感器臂
2)  cantilever acoustic sensor
悬臂式声传感器
1.
Using the pressure-frequency characteristic, the GaAs cantilever acoustic sensor based on RTD is designed and processed by the control hole technology firstly, and the process integration of RTD and micro-mechanical technology is implemented.
利用此压力-频率转换特性,首次设计并利用微机械控制孔技术加工制作了基于RTD的GaAs基悬臂式声传感器结构,实现了RTD与GaAs基微机械加工技术的工艺集成。
3)  sensor support arm
传感器支座臂
4)  microcantilever sensor
悬臂梁传感器
1.
Simulations of piezoresistive microcantilever sensors for surface stress measurements
表面应力敏感型压阻微悬臂梁传感器的模拟
5)  sensing arm
传感臂
1.
The structure parameters of M Z Si based ARROW pressure sensors for optimized design are presented and studied by the finite element method with the computer software ANSYS:the edge of the diaphragm located on the sensing arm is the desirable position for high sensitivity.
分析了M Z型硅基ARROW压力传感器的结构设计参数 ,并用计算机软件ANSYS对如下参数进行有限元方法 (FEM )研究 ,模拟了硅弹性膜片应力分布 ,确定了弹性膜边缘是传感臂具有高灵敏度的理想位置 ,并据此计算出由光弹性效应引起传感臂相位变化及其与压力的之间线性关
6)  cantilever pressure sensor
悬臂式压力传感器
补充资料:变压器式传感器
      利用变压器作用原理把被测位移转换为初、次级线圈互感变化的变磁阻式传感器。它由两个或多个带铁心的线圈构成,初、次级线圈间的互感能随衔铁或两个线圈间的相对移动而改变。当用适当频率的电压激励初级线圈时,次级线圈的输出电压将随互感的改变而变化,从而将被测位移转换为电压输出。这种传感器在使用中常采取两个同名端串接的次级绕组线圈,以差动方式输出,所以又称为差动变压器式传感器。变压器式传感器的特点与电感式传感器相同,有时亦称电感式传感器。但变压器式传感器在设计上具有更大的灵活性,应用更为广泛。旋转变压器、感应同步器、自整角机都属于变压器式传感器。变压器式传感器主要用于测量位移和能转换成位移量的力、张力、压力、压差、加速度、应变、流量、厚度、比重、转矩等参量。
  

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