1) wafer transfer manipulator
晶圆传输机械手
1.
Combine with national 973 project of research on basic problems of very large scale integrated circuites, the paper mainly studies the error analyse and compensation of wafer transfer manipulator.
本课题结合国家973项目超大规模集成电路制造装备基础问题研究(2009CB724206),主要研究了晶圆传输机械手的误差分析与补偿。
2) wafer transfer robot
晶圆传输机器人
1.
As an important part of IC equipment, wafer transfer robot undertakes the transit of wafer precisely, fast and steadily.
晶圆传输系统是IC装备中必不可少的组成部分,其中的晶圆传输机器人是晶圆传输系统的关键部件,主要承担着晶圆的精确定位与快速、平稳搬运任务。
3) mechanical transmission line
机械传输线
1.
The computerized test system of small single-phase asynchronous motor is composed of mechanical transmission line,hardware and software of test system.
小功率单相异步电机微机检测系统主要由机械传输线、微机检测系统硬件、软件等三部分组成。
4) Transfer and orientation of wafer
晶圆传输定位
5) manipulator trolley
机械手运输车
补充资料：传播常数(见传输线)
传播常数(见传输线)
propagation constant
ChUon匕oChongsh日传播常数(propagation constant)线。见传输
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条