1) quasi atomic layer deposition
准原子层沉积
1.
In this thesis, quasi atomic layer deposition method has been used to coat nanodiamonds and carbon nanotubes with silicon and titanium.
本论文在纳米金刚石和碳纳米管表面准原子层沉积镀硅、镀钛,并通过直接氧化处理钛镀层和ZrOCl2?8H2O恒温水解制备氧化钛和氧化锆涂层,实现了纳米金刚石和碳纳米管表面纳米涂层的均匀沉积改性。
2) atomic layer deposition
原子层沉积
1.
Surface reaction mechanisms of HfO_2-Al_2O_3 alloy grown on silicon by atomic layer deposition:A density functional theory study;
HfO_2和Al_2O_3混合原子层沉积反应机理的密度泛函理论研究
2.
The principle of atomic layer deposition technique (ALD)comparing with conventional film deposition processes,especially in vacuum originated and deposition mechanism,are discussed.
讲述原子层沉积技术原理与特点的同时,进一步论述了它在沉积机理和实验真空度这两方面与传统薄膜沉积工艺的异同;综述了此技术在铁电薄膜制备研究方面的最新进展,前驱体的制备与选择、薄膜缺陷的控制以及表面化学反应动力学依然是当前原子层制备铁电薄膜研究的重点;最后展望了原子层沉积技术制备铁电薄膜的发展方向。
3.
The miniaturization of semiconductor devices accelerates the development of atomic layer deposition(ALD) technology.
首先简述原子层沉积(ALD)技术的发展背景,通过分析ALD的互补性和自限制性等工艺基础,介绍了它在膜层的均匀性、保形性以及膜厚控制能力等方面的优势,着重列举ALD在半导体互连技术、高k电介质等方面的应用。
3) Atom deposition
原子沉积
1.
Simulation of sodium atom deposition pattern in a laser standing wave field;
激光驻波场中钠原子沉积图样的理论研究
5) atom sediment
原子束沉积
6) excime laser deposition
准分子激光沉积
补充资料:准原子
准原子
Quasiatom
射寿命短得多这一最重要的因素。对于一给定的跃迁,如图2所示,跃迁能量是核间距离的连续函数,在各个核间距离上,辐射均可能发生,由于碰撞时间比辐射寿命短,准分子X射线谱连续延展到组合准原子的跃迁能.此谱反映了准分子能级结构,但它可能被碰撞展宽显著地改变。 1972年开创的轻系统和LX射线将准分子X射线研究拓广至从碳加碳(C+C)到铅加铅一系列碰撞系统的M,L和K辐射。源于镍加镍(Ni+Ni)和铭加锭(Nb+Nb)碰撞的连续K谱的例子如图4所示。这些连续辐射显示了特征的、与光频有关的各向异性发射图,它仅与分子系统有关,这提供了认证准分子X射线的重要性质和发展准分子与准原子态光谱学的可能性。通过探查L和K型辐射与特征X射线的关系,人们发展了从连续谱中鉴别这两种准分子跃迁的技术。由于碰撞期间存在源于核激发的下射线本底辐射,特别稳定的核(Pb十Pb)碰撞系统有靠准分子X射线探查的最重的准原子(Z总二164)。在Pb+U(Z总二174)和Pb+Cm(Z总二178)碰撞系统中,研究作为核间距离函数的K空激发概率,得到了准分子能级在组合核电荷的能级之上的信息,借助于这些和其他实验,包括上面讨论的超重碰撞系统中正电子产生的研究,逐步积累了关于亚临界和超临界束缚准原子的信息。106线子原单bNK!戈| 袱心胜Ni杯儿105Nb+Nb苏凡.103Nb+Nb组合原子K。能量、、、飞原子K。能量︵攀|互兴︶探军嘛铡庸102101100 40 60光子能量‘千电子伏)图4源自Ni+Ni和Nb+Nb碰撞中的准分子KX射线谱。Ni十Ni的人射离子能量是64.8兆电子伏,Nb+Nb的是75.9兆电子伏,在与束成900的方向上观察X射线.大于组合原子能量的谱展宽是碰撞造成的。图中还画出了特征单 原子线K。和K,〔格林伯格(J.5.Greenberg)撰〕核间距而变化;(3)在核最靠近时的统一原子极限情况下,组合原子的准原子状态。准原子状态只是准分子束缚势随内核间距而变的组合原子的极限。图1给出了独立粒子的状态,它们是在每种所选定的内核分开距离处,凝固核运动,计算出来的,由此形成在原子原子散射中理解一些碰撞现象的基础。参阅“分子结构和光语”(moleeular stru“ture andspeetra)条。
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参考词条