1) optical registration
光对准;光学配准
2) optical register
光学配准
3) optical alignment
光学对准
1.
The printed images of these marks are aligned by an optical alignment system and the alignment positions of the images are recorded.
该技术将具有精细结构的测量标记曝光在硅片上,硅片显影后,由光学对准系统获取曝光在硅片上的测量标记图形的对准位置信息,根据对准位置信息计算得到视场中各点的焦深。
4) optical aligner
光学对准器
6) optical alignment
光对准
1.
Axismisalignment error compensation method based on optical alignment for a multi-sensor assembly;
基于光对准的多传感器轴装配误差补偿技术
补充资料：Alignment对准
1. 定义：利用芯片上的对准键，一般用十字键和光罩上的对准键合对为之。2. 目的：在ic的制造过程中，必须经过6~10次左右的对准、曝光来定义电路图案，对准就是要将层层图案精确地定义显像在芯片上面。3. 方法：a.人眼对准b.用光、电组合代替人眼，即机械式对准。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条