1) overhead projector lens
投影器物镜
2) projection optics
投影物镜
1.
To study the two-mirror reduced projection optics for Extreme Ultraviolet Lithography (EUVL), Schwarzschild design form and flat field design form were investigated.
极紫外投影光刻(EUVL)两镜微缩投影物镜通常采用Schwarzschild结构和平场结构。
3) projection lens
投影物镜
1.
Based on étendue, relative illumination of projection lens is analyzed.
基于非成像光学的啨ｔｅｎｄｕｅ量对液晶投影显示照明系统和投影物镜进行匹配 ,对液晶投影物镜的相对照度进行分析 ,根据啨ｔｅｎｄｕｅ量计算照明系统液晶板照明面的发光强度分布 ,与根据朗伯体服从余弦分布的计算相对照度的算法进行比较 ,并对相对照度的Rimmer算法进行修正 ,分析和实验表明 ,修正算法得到的投影物镜相对照度计算更符合实际情况 ,对于投影物镜确定渐晕系数、校正像差有
2.
In order to meet the demand of coma measurement accuracy of lithographic tool projection lens,a novel method for measuring coma based on fine overlay error metrology marks is proposed.
为了满足光刻机投影物镜彗差测量精度的要求,提出一种基于套刻误差测试标记的彗差检测技术,分析了彗差对套刻误差测试标记空间像的影响,详细叙述了该技术的测量原理,并利用PROLITH光刻仿真软件对不同数值孔径与部分相干因子设置下套刻误差相对于彗差的灵敏度系数进行了仿真实验。
3.
In high numerical aperture and low technic factor lithography process,degradation of the image quality because of the coma aberration in the projection lens has become a serious problem.
在高数值孔径、低工艺因子的光刻技术中,投影物镜彗差对光刻质量的影响变得越来越突出,因而需要一种快速、高精度的彗差原位测量技术。
4) Schwarzschild optics
Schwarzschild投影物镜
5) zoom projection lens
变焦投影物镜
1.
Design of zoom projection lens for the light engine of LCoS rear-projection TV;
LCoS背投光学引擎中变焦投影物镜设计
6) photolithographic lenses
投影光刻物镜
1.
Optical assembly and rectification of sub micro (i line and g line) photolithographic lenses;
亚微米(i线和g线)投影光刻物镜的光学装校
补充资料：投影
投影
projection
投影t洲恤“JI二npo绷。:] 有关投影(projeCting)运算的一个术语，可定义如下(见图):在空间里选定任意一点S作为投影中心(celltre of projeCt奴〕n)以及一个不通过S的平面n‘作为投影平面(Plane ofprojeCtlon).为了通过中心S把空间的一点A(原象(pre~刀nage))投射到平面n’上，作直线SA直到它与平面n‘的交点A‘.点A’(象(皿age))称为A的投影(projeCtlon).一个图形F的投影定义为它所有点的投影的集合. 匕亘热三 上面描述的投影称为中心的(celltn习)(或锥形的(co~I)).中心在无穷远处的投影称为平行的(p娜-侧)(或柱面的(cylil〕dri以1)).进一步，如果投影平面垂直于投影力一向，那么这种投影称为正交的(。n五。-即加}). 平行投影在画法几何学(d‘crip吮今”】优卿)里被广泛应用，以求得到各种不同类型的象(例如见轴侧投影法(axonolnetry);透视(详招peCti祀)).还有到平面、球面与其他曲面上的一些特殊形式的投影(例如见制图投影(“爪。g甩Phic proJ找币on);球极平面投影(s把限犯I飞lphic projeC石on)) .A .B.物a，撰【补注】在几何学与线性代数里人们也遇到平行于一个子空间的投影(pxojeCt10nS Pa阎lel to a su比paCe)，例如，如果X是一个向量空间，V是一个子空间且w是一个补子空间(即V自w二{O}且X=V十W)，那么从X到V上的平行于W的投影尸是将x=v+、，(”任V，w任w)映为v的线性映射.算子尸满足尸2二P，并且‘每个这样的算子来自一个分解X=VOW，其中V二尸(X)，W=(I一P)(X). Hil忱rt空间H到一个闭子空间F的正交投影(0曲ogonal projeCtion)将x〔H对应于F的唯一元素y，使得x一夕与F是正交的.它是沿着正交补(ort]10gonal conlple胀nt)F止=笼x〔H:(x，夕)=o，丫y任r}到F上的平行投影.元素夕是F中的对x的最佳逼近元素.在这种情况下对应算子P也是白伴的，并且反之使得尸二P的自伴算子P是正交投影.亦见投影算子(proJ川or).
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参考词条