1) correction marking
校对标记
3) correction label
校正标记
4) contrast markup
对照标记
1.
Using XML contrast markup method based on DTD,which is a numerical index to process the XML document.
基于DTD采用XML对照标记方法,对XML进行数字编码索引。
5) object label
对象标记
6) alignment mark
对准标记
1.
The principle of bottom side alignment,the stage structure and the selection of the shape and size of the alignment mark are discussed.
主要论述了底面对准光刻机的对准原理、工件台结构以及对准标记的形式和尺寸的选
2.
In this thesis, the principal and feature of several phase grating alignment systems are introduced firstly; Alignment signal of phase grating alignment mark and the factors of influece of alignment signal are analysed secondly; This paper studies and compares three main factors which affect the diffractive error of alignment mark thirdly; At last, by .
本论文首先介绍了各种相位光栅对准系统的原理和特点;接着阐述对准信号以及系统中影响对准信号的因素;其次分析影响相位光栅对准标记衍射效率的主要因素槽深、占空比和反射率;最后通过建立相位光栅对准标记非对称变形的计算模型,分析标记的各级衍射效率和对准误差;并把本文所得结果与仿真软件结果进行比较,两者得到了很好的吻合。
补充资料：版权标记
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参考词条