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1)  degassing anneal
除气退火
2)  annealing atmosphere
退火气氛
例句>>
3)  N2 annealing
氮气退火
4)  hydrogen annealing
氢气退火
1.
In this thesis, the effects of high temperature hydrogen annealing on oxygen precipitation, f.
本论文研究了高温氢气退火对直拉硅中氧沉淀、洁净区形成、热施主等氧的行为的影响，得到了以下结果： 研究了直拉(CZ)硅片、掺锗直拉(GCZ)硅片、掺氮直拉(NCZ)硅片经氢气和氩气氛下低—高缓慢升温(L-H Ramping)处理即：从800℃以1℃／min的升温速率升温到1050℃或1150℃并保温4小时后氧沉淀和洁净区形成的情况。
5)  Gas anneal
气氛退火
例句>>
6)  air-annealing
空气退火
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