1) steam annealing
蒸气退火
3) N2 annealing
氮气退火
4) hydrogen annealing
氢气退火
1.
In this thesis, the effects of high temperature hydrogen annealing on oxygen precipitation, f.
本论文研究了高温氢气退火对直拉硅中氧沉淀、洁净区形成、热施主等氧的行为的影响,得到了以下结果: 研究了直拉(CZ)硅片、掺锗直拉(GCZ)硅片、掺氮直拉(NCZ)硅片经氢气和氩气氛下低—高缓慢升温(L-H Ramping)处理即:从800℃以1℃/min的升温速率升温到1050℃或1150℃并保温4小时后氧沉淀和洁净区形成的情况。
6) air-annealing
空气退火
补充资料:可控气氛辊底式退火炉(上海第五钢铁厂)
可控气氛辊底式退火炉(上海第五钢铁厂)
可控气氛辊底式退火炉(上海第五钢铁厂)
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
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