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1)  steam annealing
蒸气退火
2)  annealing atmosphere
退火气氛
3)  N2 annealing
氮气退火
4)  hydrogen annealing
氢气退火
1.
In this thesis, the effects of high temperature hydrogen annealing on oxygen precipitation, f.
本论文研究了高温氢气退火对直拉硅中氧沉淀、洁净区形成、热施主等氧的行为的影响,得到了以下结果: 研究了直拉(CZ)硅片、掺锗直拉(GCZ)硅片、掺氮直拉(NCZ)硅片经氢气和氩气氛下低—高缓慢升温(L-H Ramping)处理即:从800℃以1℃/min的升温速率升温到1050℃或1150℃并保温4小时后氧沉淀和洁净区形成的情况。
5)  Gas anneal
气氛退火
6)  air-annealing
空气退火
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