1) transverse coma
横向彗差
2) anisotropic coma
[物]各向异性彗差
3) tangential coma
切向彗形象差
4) coma
[英]['kəʊmə] [美]['komə]
彗差
1.
Results There were no significant differences in higher-order aberrations (HOA), spherical aberrations (SA) and coma under non-accommodation.
结果调节放松状态各组间的总高阶像差、彗差、球差差异均无显著性,水平彗差和球差与总高阶像差存在线性相关(P值分别为0。
2.
In order to meet the demand of coma measurement accuracy of lithographic tool projection lens,a novel method for measuring coma based on fine overlay error metrology marks is proposed.
为了满足光刻机投影物镜彗差测量精度的要求,提出一种基于套刻误差测试标记的彗差检测技术,分析了彗差对套刻误差测试标记空间像的影响,详细叙述了该技术的测量原理,并利用PROLITH光刻仿真软件对不同数值孔径与部分相干因子设置下套刻误差相对于彗差的灵敏度系数进行了仿真实验。
3.
It is shown that the symmetry of the spectral response and the coupling efficiency will be deteriorated when the coma appears during the diffraction and imaging.
最终证明彗差会造成谱形失称 ,明显降低耦合效率 ;而球差则会明显地增加串扰 。
6) thickness distribution
横向厚差
1.
In this paper,the reation between sheet shape and thickness distribution in width is set up including the influence of out tension based on measured tensions in works The influence of out tension to sheet shape is solved quantitatively It is important to improve the calculated accuracy of shape contro
以现场实测前张力分布为依据，考虑了前张力对板形的影响，建立板形与横向厚差的关系。
2.
In this paper, the relation between sheet -shape and thickness distribution in width is set up include the influence of out-tension based on measured tensions in works, The influence of out-tension to sheet shape is solved quantitatively.
本文以现场实测前张力分布为依据，考虑了前张力对板形的影响，建立起板形与横向厚差的关系。
补充资料：各向同性和各向异性
物理性质可以在不同的方向进行测量。如果各个方向的测量结果是相同的,说明其物理性质与取向无关,就称为各向同性。如果物理性质和取向密切相关，不同取向的测量结果迥异，就称为各向异性。造成这种差别的内在因素是材料结构的对称性。在气体、液体或非晶态固体中，原子排列是混乱的,因而就各个方向而言,统计结果是等同的，所以其物理性质必然是各向同性的。而晶体中原子具有规则排列，结构上等同的方向只限于晶体对称性所决定的某些特定方向。所以一般而言，物理性质是各向异性的。例如， α－铁的磁化难易方向如图所示。铝的弹性模量E沿[111]最大(7700kgf/mm2),沿[100]最小(6400kgf/mm2)。对称性较低的晶体（如水晶、方解石）沿空间不同方向有不同的折射率。而非晶体(过冷液体)，其折射率和弹性模量则是各向同性的。晶体的对称性很高时，某些物理性质(例如电导率等)会转变成各向同性。当物体是由许多位向紊乱无章的小单晶组成时，其表观物理性质是各向同性的。一般合金的强度就利用了这一点。倘若由于特殊加工使多晶体中的小单晶沿特定位向排列（例如金属的形变"织构"、定向生长的两相晶体混合物等），则虽然是多晶体其性能也会呈现各向异性。硅钢片就是这种性质的具体应用。
介于液体和固体之间的液晶，有的虽然分子的位置是无序的，但分子取向却是有序的。这样，它的物理性质也具有了各向异性。
介于液体和固体之间的液晶，有的虽然分子的位置是无序的，但分子取向却是有序的。这样，它的物理性质也具有了各向异性。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条