1) parallel plate
平晶,平行片
2) plane crystal face
平晶片
3) wafer leveling
晶片平整
4) parallel plain crystal gauge
平行平晶规
5) planopaallel plate
平行平面板,平行平晶
6) the parallel springs
平行簧片
1.
The study on the performance of the parallel springs guideway;
平行簧片导轨的性能研究
补充资料:平晶
具有两个(或一个)光学测量平面的正圆柱形或长方形的量规。光学测量平面是表面粗糙度数值和平面度误差都极小的玻璃平面,它能够产生光波干涉条纹(见激光测长技术)。平晶有平面平晶和平行平晶两种。平面平晶用于测量高光洁表面的平面度误差,图1a为用平面平晶检验量块测量面的平面度误差。平行平晶的两个光学测量平面是相互平行的,用于测量两高光洁表面的平行度误差,例如千分尺两测量面的平行度误差(图1b)。平晶用光学玻璃或石英玻璃制造。圆柱形平面平晶的直径通常为 45~150毫米。其光学测量平面的平面度误差为:1级精度的为0.03~0.05微米;2级精度的为0.1微米。常见的长方形平面平晶的有效长度一般为200毫米。
平晶是利用光波干涉现象测量平面度误差的,故其测量方法称为平晶干涉法(图2),也称技术光波干涉法。测量时,把平晶放在被测表面上,且与被测表面形成一个很小的楔角 θ,以单色光源照射时会产生干涉条纹。干涉条纹的位置与光线的入射角有关。如入射光线垂直于被测表面,且平晶与被测表面间的间隙很小,则由平晶测量面P反射的光线与被测表面反射的光线在测量面 P发生干涉而出现明或暗的干涉条纹。若在白光下,则出现彩色干涉条纹。如干涉条纹平直,相互平行,且分布均匀,则表示被测表面的平面度很好;如干涉条纹弯曲,则表示平面度不好。其误差值为,式中a为两干涉条纹间距离,b为干涉条纹的弯曲值,λ为光波波长,白光波长一般以0.6微米计算。
平晶是利用光波干涉现象测量平面度误差的,故其测量方法称为平晶干涉法(图2),也称技术光波干涉法。测量时,把平晶放在被测表面上,且与被测表面形成一个很小的楔角 θ,以单色光源照射时会产生干涉条纹。干涉条纹的位置与光线的入射角有关。如入射光线垂直于被测表面,且平晶与被测表面间的间隙很小,则由平晶测量面P反射的光线与被测表面反射的光线在测量面 P发生干涉而出现明或暗的干涉条纹。若在白光下,则出现彩色干涉条纹。如干涉条纹平直,相互平行,且分布均匀,则表示被测表面的平面度很好;如干涉条纹弯曲,则表示平面度不好。其误差值为,式中a为两干涉条纹间距离,b为干涉条纹的弯曲值,λ为光波波长,白光波长一般以0.6微米计算。
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参考词条