3) parallel salvo
平行齐射
4) flat package
齐平封装
1.
The plane structure with back bearing pressure and the design of no cavity flat package are the key of realizing the.
用MEMS技术设计的内径为2 mm的周边固支圆平膜片微型敏感元件具有高达数百kHz的固有频率,刚性键合及低桥阻确保了亚μs级的上升时间,背面承压的平面结构及无管腔齐平封装设计是高频响特性实现的关键。
补充资料：平齐行二首
【诗文】：
胡尘昔起蓟北门，河南地属平卢军。貂裘代马绕东岳，
峄阳孤桐削为角。地形十二虏意骄，恩泽含容历四朝。
鲁人皆解带弓箭，齐人不复闻箫韶。今朝天子圣神武，
手握玄符平九土。初哀狂童袭故事，文告不来方振怒。
去秋诏下诛东平，官军四合犹婴城。春来群乌噪且惊，
气如坏山堕其庭。牙门大将有刘生，夜半射落欃枪星。
帐中虏血流满地，门外三军舞连臂。驿骑函首过黄河，
城中无贼天气和。朝廷侍郎来慰抚，耕夫满野行人歌。
泰山沉寇六十年，旅祭不享生愁烟。今逢圣君欲封禅，
神使阴兵来助战。妖气扫尽河水清，日观杲杲卿云见。
开元皇帝东封时，百神受职争奔驰。千钧猛簴顺流下，
洪波涵淡浮熊罴。侍臣燕公秉文笔，玉检告天无愧词。
当今睿孙承圣祖，岳神望幸河宗舞。青门大道属车尘，
共待葳蕤翠华举。
【注释】：
【出处】：
全唐诗：卷356-10
胡尘昔起蓟北门，河南地属平卢军。貂裘代马绕东岳，
峄阳孤桐削为角。地形十二虏意骄，恩泽含容历四朝。
鲁人皆解带弓箭，齐人不复闻箫韶。今朝天子圣神武，
手握玄符平九土。初哀狂童袭故事，文告不来方振怒。
去秋诏下诛东平，官军四合犹婴城。春来群乌噪且惊，
气如坏山堕其庭。牙门大将有刘生，夜半射落欃枪星。
帐中虏血流满地，门外三军舞连臂。驿骑函首过黄河，
城中无贼天气和。朝廷侍郎来慰抚，耕夫满野行人歌。
泰山沉寇六十年，旅祭不享生愁烟。今逢圣君欲封禅，
神使阴兵来助战。妖气扫尽河水清，日观杲杲卿云见。
开元皇帝东封时，百神受职争奔驰。千钧猛簴顺流下，
洪波涵淡浮熊罴。侍臣燕公秉文笔，玉检告天无愧词。
当今睿孙承圣祖，岳神望幸河宗舞。青门大道属车尘，
共待葳蕤翠华举。
【注释】：
【出处】：
全唐诗：卷356-10
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