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1)  wafer heating mechanism
晶圆加热机构
2)  wafer group closing mechanism
晶圆群靠拢机构
3)  single wafer processing cleaner
单晶圆加工洗涤机
4)  heated circular plate
加热圆板
5)  plate heating cylindrical dryer
板式加热圆筒干燥机
6)  heated crystallization
加热晶化
补充资料：圆板
【圆板】
　（物名）圆形之钟板也，可以打击者。
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参考词条