1) wafer dose uniformity
晶圆离子注入均质性
2) wafer-to -wafer dose uniformity
晶圆间离子值入之均质性
4) neutral ion injector
中性离子注入器
补充资料:中性
1.谓不表示性别。 2.化学上指既不呈酸性又不呈碱性的性质,如纯水的性质。
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
参考词条