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1)  wafer dose uniformity
晶圆离子注入均质性
2)  wafer-to -wafer dose uniformity
晶圆间离子值入之均质性
3)  ion implanted impurity
离子注入杂质
4)  neutral ion injector
中性离子注入器
5)  amorphous implantation
对非晶半导体离子注入
6)  ion implanted base transistor
离子注入基极晶体管
补充资料:中性
1.谓不表示性别。 2.化学上指既不呈酸性又不呈碱性的性质,如纯水的性质。
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参考词条