1) resist curing system
抗蚀剂熟化系统
2) resist stripping system
抗蚀剂剥离系统
3) resist plasma ashing system
等离子体抗蚀剂灰化系统
4) wet type resist stripping system
湿式抗蚀剂剥离系统
5) resist ashing system
抗转剂灰化系统
6) chemical amplification
化学增幅抗蚀剂
补充资料：增幅
1.增长幅度。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条