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1)  Grinding aid
研磨助材
2)  grind auxiliary agent
研磨助剂
1.
The mechanism and effect of a kind of organic grind auxiliary agent were discussed.
详细、深入地介绍了一种有机研磨助剂的作用机理及使用效果。
3)  abrasive material
研磨材料
4)  stone grinding machine
石材研磨机
5)  3M Abrasives
3M研磨材料
6)  abradant material
研磨材料,磨料
补充资料:Anglelapping角度研磨

angle lapping 的目的是为了测量junction的深度,所作的芯片前处理,这种采用光线干涉测量的方法就称之angle lapping。公式为xj=λ/2 nf即junction深度等于入射光波长的一半与干涉条纹数之乘积。但渐渐的随着vlsi组件的缩小,准确度及精密度都无法因应。如srp(spreading resistance prqbing)也是应用angle lapping的方法作前处理,采用的方法是以表面植入浓度与阻值的对应关系求出junction的深度,精确度远超过入射光干涉法。

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