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1)  clean draft chamber
洁净通风室
2)  air seal type clean draft chamber
密封式洁净通风室
3)  clean room
洁净室
1.
Influence factor for airborne of clean room;
洁净室内尘埃粒子数的影响因素
2.
Study of using fresh air for cooling clean rooms in winter;
洁净室冬季使用新风作为冷源的研究
4)  cleanroom
洁净室
1.
Energy Consumption Analysis of the Air Handling Process in Cleanroom Air-conditioning Systems;
洁净室空调系统热湿处理能耗分析
2.
Discussion of definition of cleanroom occupation status:part 2 of the series of research practice of the national standard task group for the Code for cleanroom construction and acceptance test;
关于洁净室占用状态定义的探讨——国标《洁净室施工及验收规范》编制组研讨系列课题之二
3.
Air tightness measuring method for cleanrooms:part 8 of the series of research practice of the national standard task group for the Code for cleanroom construction and acceptance test;
洁净室气密性检测方法研究——国标《洁净室施工及验收规范》编制组研讨系列课题之八
5)  clean room garment
洁净室工
6)  clean room garment
洁净室工
补充资料:洁净室(无尘室)标准

(一)洁净室之定义
  洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。
 「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
  洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。


(二)洁净室之等级
  世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
  209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位,洁净室等级以‵M′字头表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推,配合国际公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表示。
  美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等级为Class 1,最差则为Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。


(三)洁净室控管之项目
  1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
  2. 能防止微尘粒子之产生。
  3. 温度和湿度之控制。
  4. 压力之调节。
  5. 有害气体之排除。
  6. 结构物与隔间之气密性。
  7. 静电之防制。
  8. 电磁干扰预防。
  9. 安全因素之考虑。
  10. 节能之考量。


(四)洁净室之分类


1.乱流式(Turbulent Flow):
  空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
  优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。
  缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。


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参考词条