1) total error of dvision
节距总误差
2) total pitch error
总节距误差
3) total error of tooth spacing
齿距总误差
4) pitch error
(1)螺距误差(2)周节误差
5) axial pitch error
轴向节距误差
6) maximum pitch error
最大节距误差
补充资料：步距误差
分子式：
CAS号：
性质： 光学掩模版列或行上相邻功能图形中，某图像的点与相应图像对应点之间的距离叫步距。实测步距与规定步距之差即步距误差。
CAS号：
性质： 光学掩模版列或行上相邻功能图形中，某图像的点与相应图像对应点之间的距离叫步距。实测步距与规定步距之差即步距误差。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条