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1)  soft contact lithography
软接触式光刻
2)  contact printing
接触式光刻
3)  contact photolithography
接触光蚀刻
4)  contactless lithography
无接触光蚀刻
5)  proximity lithography
接近式光刻
1.
Computer simulation of diffraction intensity in proximity lithography;
接近式光刻衍射光场的快速计算机模拟
2.
The light density on the wafer mainly depends on the diffraction produced by the gap between the mask and the wafer in proximity lithography.
在接近式光刻中,衬底上的光强分布主要是受掩模与衬底间的间隙引起的衍射影响。
6)  SLT contact laser
接触式激光
1.
A double-blind randomized controlled trial of microsurgery for intramedullary spinal cord tumors with SLT contact laser;
SLT接触式激光显微手术治疗脊髓髓内肿瘤随机对照研究
补充资料:接触式光刻
分子式:
CAS号:

性质:一种原始的复制工艺。将光学掩模版图形面与待光刻区域光致抗蚀剂(或感光乳胶)表面接触而曝光。

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参考词条