1) semiconductor microlithography
半导体显微光刻
2) semiconductor photolithography
半导体光刻
1.
This paper introduces the principle and fabrication of biochip, and lays emphasis on the application of semiconductor photolithography in DNA chips.
以生物芯片及其制作过程来重点介绍采用半导体光刻技术制作基因芯片 ,通过与传统光引导合成法的比较 ,表明了这种方法在制作高密度寡聚核苷酸上的优越性 ,其探针特征尺寸可望达到 1μm,并阐明了其原因。
3) Microetching of semiconductor
半导体微刻蚀
4) microlithography
显微光刻法
5) microphotolithography
显微光刻术
6) Semiconductor optical microcavities
半导体光学微腔
补充资料：半导体导电性(见半导体的导电与电荷输运)
半导体导电性(见半导体的导电与电荷输运)
electrical conductivity of semiconductor
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说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条