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1)  reticle pattern
中间掩模图样
2)  reticle image
中间掩模图像
3)  reticle mask
中间掩模
4)  reticle masking
中间掩模掩蔽
5)  pellicle reticle
薄膜中间掩模
6)  reticle alignment
中间掩模对准
补充资料:光学掩模版
分子式:
CAS号:

性质: 在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位,以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构。

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参考词条