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1)  reactive etching
反应性腐蚀
2)  Corrosion Reactions
腐蚀反应
3)  etching reactor
腐蚀反应器
4)  RIE
反应离子腐蚀
1.
RIE and the Application in the VLSI Failure Analysis Field;
反应离子腐蚀及其在VLSI失效分析中的应用
5)  kinetics of corrosion reaction
腐蚀反应动力学
6)  dry etching reactor
干腐蚀反应器
补充资料:腐蚀反应动力学
分子式:
CAS号:

性质:主要是研究有关腐蚀过程速度问题的理论。在实际用材中,了解腐蚀的倾向固然重要,但更关心的是腐蚀速度。对于金属设备和材料来说,要尽量降低腐蚀反应速度,延长其使用寿命,就必须了解腐蚀过程的机理、动力学规律及影响腐蚀速度的各种因素,从而寻找正确有效的防护途径,这些都属于动力学研究的范畴。   

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