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1)  proximity mask alignment
接近式掩模对准
2)  spaced alignment
接近式对准
3)  mask alignment
掩模对准<测>
4)  mask aligner
掩模对准器
5)  Mask aligners
掩模对准系统
6)  automask aligner
自动掩模对准器
补充资料:光学掩模版
分子式:
CAS号:

性质: 在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位,以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构。

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参考词条