1) prealigner
预对准器
2) prealigner
预对准
1.
High-precision prealigner is a crucial component in wafer transport device for modern photolithographer.
高精度的预对准是设计现代光刻机硅片传输系统需要解决的核心问题之一。
3) prealignment
预先对准
5) wafer prealignment
薄片预对准
补充资料：设备安装前的准备工作——设备的预装配与预调整
设备安装前的准备工作——设备的预装配与预调整 | ||
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参考词条