1) Wafer Pre-alignment Principles
硅片预对准原理
2) micro-silicon-fixer
微硅片对准
1.
A new mini-spectrophotometer was developed by adopting micro-silicon-slit and micro-silicon-fixer,which are based on MEMS technology.
研制出了一种采用微硅片对准技术和微硅片狭缝的新型微型分光光度计。
3) wafer prealignment
薄片预对准
4) Silicon alignment
硅片对位
5) prealigner
预对准
1.
High-precision prealigner is a crucial component in wafer transport device for modern photolithographer.
高精度的预对准是设计现代光刻机硅片传输系统需要解决的核心问题之一。
6) prealigner
预对准器
补充资料：设备安装前的准备工作——设备的预装配与预调整
设备安装前的准备工作——设备的预装配与预调整 | ||
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参考词条