1) implanted oxide
离子注入氧化物
2) oxygen ion implantation
氧离子注入
1.
The roles of oxygen ion implantation on the microstructure and mechanical properties of diamond films
氧离子注入对金刚石薄膜微结构和力学性能的影响
5) ion implanted mos device
离子注入金属氧化物半导体器件
6) field oxide implantation
场氧化层离子注入
补充资料：离子注入（ionimplantation）
离子注入（ionimplantation）
用离子加速器将各种离子注入半导体材料，从而改变半导体材料的电学、光学或其他物理性质的半导体工艺技术，称为离子注入技术。自从20世纪70年代以来离子注入技术在半导体器件制备工艺中获得了广泛应用，是半导体器件工艺的最主要技术之一。
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参考词条