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1)  oxygen implanter
氧离子注入器
2)  oxygen ion implantation
氧离子注入
1.
The roles of oxygen ion implantation on the microstructure and mechanical properties of diamond films
氧离子注入对金刚石薄膜微结构和力学性能的影响
3)  O ions co implanted
氧离子共注入
4)  implanted oxide
离子注入氧化物
5)  oxygen plasma based ion implantation
等离子体基氧离子注入
1.
Ti6A14V was treated by oxygen plasma based ion implantation of-30 and-50 kV.
采用等离子体基氧离子注入技术对Ti6A14V合金进行表面处理。
6)  plasma injector
等离子体注入器
补充资料:离子注入(ionimplantation)
离子注入(ionimplantation)

用离子加速器将各种离子注入半导体材料,从而改变半导体材料的电学、光学或其他物理性质的半导体工艺技术,称为离子注入技术。自从20世纪70年代以来离子注入技术在半导体器件制备工艺中获得了广泛应用,是半导体器件工艺的最主要技术之一。

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